大流量真空度調(diào)節(jié)閥的安裝方式

    在大流量真空度調(diào)節(jié)閥EVR推出之前，遇到抽真空流量大、抽氣速度快的要求，只有一種安裝方式——旁路安裝。這種安裝方式是抽空泵直接對真空容器進行抽氣，抽氣速度只取決于真空泵，而不是取決于真空閥。下游安裝，真空閥裝在真空泵和容器之間，真空閥起到了一定的節(jié)流作用，抽真空流量取決于真空閥。下圖是真空度調(diào)節(jié)閥的兩種安裝方式（旁路安裝和下游安裝）：

    雖然在大流量抽真空時可以采用旁路安裝方式，真空泵直接對容器抽氣來加大流量，但這種安裝方式也有一定的弊端。比如，假設(shè)圖一中這個真空泵不止對一個容器抽真空，而是對多個容器抽真空，每個容器的真空度要求又不一樣，這時采用這種安裝方式就會影響系統(tǒng)內(nèi)其他容器的真空度，*終使系統(tǒng)內(nèi)所有容器真空度一樣。這樣看來只能在每個容器的抽氣口加裝一個真空閥，也就是下游安裝了。但下游安裝的話真空閥起到了節(jié)流作用，比如R251*大流量也只有800L/m，超過這個流量就無法達到要求。這時就需要使用大流量真空度調(diào)節(jié)閥EVR。EVR*大口徑3“，*大流量可以達到4200L/m。